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画像処理の道しるべ−BBS−

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[1368]PatInspect,BoundaryInspectのこと - 投稿者:some

 2月頃にPatInspectのことが話題になっていたようですが,PatMaxによる正確な位置決めが出来るため良品との差分比較が可能になったことによる延長の技術ですが,単純な良品差分比較ではなく,複数の良品を登録することでばらつきの情報を作り,差分をばらつきで正規化することによりエッジ等のばらつきの多いところでは甘めに検査するということをしていると思います.
 HALCONのImageComparison(Variation)でもおなじ方法ではないでしょうか.
 それで聞きたいのは,そのとき話題になったBoundaryInspectのことですが,この方法についてもう少し詳しく教えていただけないでしょうか.また,説明や適用例等もあれば教えてください.

( 2005年12月01日 (木) 13時16分 )

- RES -

[1369] - 投稿者:あやねこ

HALCONのVariationModelとは全く異なる技術のはずです。

PatInspectは輪郭線が正規の位置にあるか、余分な輪郭線が無いかを判断する方法であり、照度変動に対してロバストである一方、輪郭線を結ばないムラなどの検出ができない欠点があります。

VariationModelは一画素ごとの二値化レベルを複数の良品画像から統計的に自動生成する方法であり、ムラも検出する能力があります。一方で照度変動を受けるという欠点もあります。

で問題のBoundaryInspectですがあまり良くわかりません。たぶんモデル輪郭線を構成する点それぞれについて、対象画像における輪郭線との距離を計算し、それを評価しているのではないかと想像します。

技術的にはPatInspectが上。
発想力としてはVariationModelが上。
というのが当方の見方です。

( URL 2005年12月01日 (木) 23時09分 )

[1370]BoundaryInspectについて - 投稿者:京極堂

BoundaryInspectはもともとBoundaryTrackerというものをベースに作られれいて、ブロブのつながりを追っていき、モデル登録されたパターンと違う部分があれば不良とみなすもののようです。あやねこさんのコメントは合っていると思います。まだ使ったこと無いのであまり詳細はわかりませんが、。今度ウェハーの外周部分を座標化してデータにすることに使おうかと思っていますので詳細がわかりましたらアップします。

( 2005年12月15日 (木) 17時59分 )

[1371]PatInspectについて - 投稿者:some

 先日,国際画像機器展に行き質問してみました.PatInspectでも強度画像を使った欠陥検出と境界情報を使った欠陥検出の2つの方法があるみたいですが.
 さすがに詳しい人が居なくて詳細は後日ということで,近々技術の人とお話してみる予定ですので,判ったら報告します.

( 2005年12月21日 (水) 12時54分 )

[1374] - 投稿者:チビ

私の知っている範囲では、PatInspectは、強度画像を扱うモードと、境界情報を扱うモードがあります。

強度画像を扱うモードでは、モデル画像との引き算を行って、欠陥画像を作成しますので、ムラなどにも対応できそうです。

PatMaxで正確な(x,y,θ)が求まるので、画像引き算しても、同じ物体であれば、ほとんど差分が残らない、ということになります。

統計登録もできるので、境界部分のバラツキを考慮できます。画像引き算のときに、ヒストグラムを使って照度補正も行えますので、照度変動にも対応できそうです。

境界情報を扱うモードは、その名の通り、境界形状が違うときに、そこを欠陥として報告してきます。数ピクセルずれただけでも、欠陥になってしまうので、かなりセンシティブだったみたいです。

BoundaryInspectは、その辺を改善していて、ここは直線、ここは曲線、のような情報を持っているようです。全体的に少しずれた直線はOKにする、局所的に見つかった欠けはNGにする、ということができるみたいです。

( 2006年03月05日 (日) 02時02分 )

[1377]BoundaryInspectについて - 投稿者:some

 たいへん遅くなりましたが先日やっとBoundaryInspectのデモを見ました.
 私の感じでは,モデル登録した境界情報を基にOuterLayerとInnerLayerをつくり(これが許容範囲),Outerより外側あるいはInnerより内側に欠けやはみ出している部分を捕まえていると思われます.
 もう10年近く前に,大型コンピュータ用セラミックス基板のパターン検査装置で同様のものがありましたし,現在でもプリントパターン検査の一手法として使われていると思います.

( 2006年04月06日 (木) 19時48分 )

[1404] - 投稿者:Unibo

アウター、インナーレイヤーだと局所的変動は捉えられませんのでまったく違う技術のはずです。

( 2006年12月01日 (金) 11時50分 )

[1405]PatInspectとBoundaryInspect - 投稿者:some

 HALCONのVaridationModeはチビさんが書いている統計登録機能と同じと思いますがいかがでしょうか.
 統計による局所変動抑制については質問投稿の中に概略は説明しています.各画素毎に,マハラノビス田口システムを使っているのと同じです.

 BoundaryInspectは輪郭位置のみを扱っているので,局所的変動うんぬんとは違うものです.

( 2006年12月01日 (金) 13時05分 )

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